简要说明

AMAT 0190-17877 是一款由 Applied Materials（AMAT）生产的射频（RF）发生器，专为半导体制造设备设计。该模块属于 MKS ENI B-10513 SPECTRUM 10513-00 系列，主要用于等离子体增强化学气相沉积（PECVD）等工艺。

应用场景

在一家半导体制造工厂中，工程师们面临着提高生产效率和设备可靠性的挑战。随着技术的进步，原有的射频发生器已无法满足先进工艺的需求。此时，AMAT 0190-17877 发挥了关键作用。通过安装该射频发生器，工厂成功地提高了等离子体工艺的稳定性和效率，减少了设备停机时间，同时降低了运维成本。这一升级显著提高了生产效率，确保了半导体制造过程的高精度和高可靠性。

核心参数速览

主要参数数值/说明
产品型号AMAT 0190-17877
制造商Applied Materials（AMAT）
产品类别射频发生器
功率10.5kW
频率13.56MHz
工作温度范围未明确，但适用于工业环境
尺寸未明确，但适用于标准机架安装
通信接口未明确，但支持标准工业通信协议
安全等级符合半导体制造设备的安全标准
功耗未明确，但适用于高功率应用
电气隔离未明确，但适用于高电压应用

技术原理与创新价值

  • 创新点1：AMAT 0190-17877 采用先进的射频技术，能够提供稳定的10.5kW功率输出，适用于高功率等离子体应用。
  • 创新点2：该射频发生器支持13.56MHz频率，适用于多种半导体制造工艺，如等离子体增强化学气相沉积（PECVD）。
  • 创新点3：具备高可靠性和抗干扰能力，能够在恶劣的工业环境中稳定运行。

应用案例与行业价值

在一家半导体制造工厂的等离子体增强化学气相沉积（PECVD）工艺中，AMAT 0190-17877 被成功应用于设备升级。通过安装该射频发生器，工厂显著提高了生产效率，减少了因设备故障导致的停机时间，同时降低了运维成本。用户对该射频发生器的性能和可靠性给予了高度评价，认为它为工厂的自动化升级提供了强有力的支持。

相关产品组合方案

  • MKS ENI B-10513 SPECTRUM 10513-00：与 AMAT 0190-17877 配合使用的射频发生器。
  • AMAT 0190-22201：顶部发生器，适用于类似工艺。
  • AMAT 0190-22201：侧面发生器，适用于类似工艺。

安装维护与全周期支持

安装准备：在安装 AMAT 0190-17877 之前，请确保设备的电源已关闭，并检查安装环境是否符合工作温度和湿度要求。建议在安装过程中遵循模块的安装手册，确保接地良好，以避免电磁干扰。
维护建议：为确保 AMAT 0190-17877 的长期稳定运行，建议定期检查模块的连接线缆和接口，确保其牢固无松动。同时，定期清理模块表面的灰尘，避免因积灰导致散热不良。如果在使用过程中遇到问题，建议及时联系技术支持团队，以获得专业的帮助。
全周期支持：Applied Materials 为 AMAT 0190-17877 提供全面的技术支持和售后服务。从安装调试到日常维护，再到故障处理和备件更换，我们的专业团队将全程为您提供帮助，确保您的系统稳定运行。联系我们获取专属解决方案，让您的自动化系统更加高效、可靠。